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混合光電子集成技術
已閱:1140  2012-6-13 8:53:47
夾雜集成的光電子集成回路中光子器件和電子器件依據各自器件的資料構造和制造工藝的分歧辨別制造在分歧的芯片上,經過焊接极速赛车计划平台官网、封裝等技能固化組合在一同极速赛车计划平台官网。夾雜集成的光電子集成回路具有器件優化水平高,產物制品率高,可充沛發揚光子器件和電子器件的功能极速赛车计划平台官网,選擇功用器件靈敏等長處极速赛车计划平台官网,集成后的OEIC體積小极速赛车计划平台官网、功用多、功能大大進步,然則夾雜集成方法的集成度很低,很難完成大規劃的出產,并且價錢較高极速赛车计划平台官网,在必然水平上限制了技能的開展和使用。近年來极速赛车计划平台官网极速赛车计划平台官网,關于集成光路的研討,以美國、日本、歐洲為中間,活著界各地繼續高漲。外延發展和精密加工技能都獲得了長足發展,并以這些技能為支柱,根本確立了用各類資料制造光波導的辦法极速赛车计划平台官网,無源器件、有源器件制造中所呈現的問題也一一獲得處理。各類光學器件曾經到達了較高的功能目標。然則,在分立光電子器件的夾雜集成上,還存在很多研討課題需求進行深化研討。
在工藝上以薄膜技能為根底的光電子技能,不斷對所用的資料進行著深化的研討极速赛车计划平台官网。光波導研制方面极速赛车计划平台官网,追求低損耗以及合用于集成的光波導資料不斷是研討的重點內容之一。玻璃合適作為光波導資料運用,應用其熱光效應還可以制造開關等有源元件。LiNbO3光波導因為具有優越的電光、聲光和非線性等特征成為當時光波導研討中的常用資料。LiNbO3可以很好地用于1.3μm的波長极速赛车计划平台官网,然則在短波長,LiNbO3存在著光毀傷和DC漂移問題极速赛车计划平台官网,器仵的特征遭到限制。跟著集成光電子技能的開展,Si等III-V族化合物資料和聚合物基資料的研討將惹起更多研討者的存眷。
夾雜集成光路必需和激光二極管或光纖耦合,并且需求到達較高的耦合效率。目前最好的耦合辦法是直接端面耦正當,效率可達80%以上极速赛车计划平台官网,但是极速赛车计划平台官网,在光纖的狀況下,必需用硅制造V形溝槽消合器,并且還要將它們銜接起來极速赛车计划平台官网,這個進程既復雜又難于穩定,因而阻礙了集成光路的適用化。此外极速赛车计划平台官网,在減小光波導傳輸損耗极速赛车计划平台官网、降低散射和改善光調制器的消光比等方面還需求進行很多的研討极速赛车计划平台官网。
 
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